单晶硅压力（差压）变送器如何确保测量精度

单晶硅压力（差压）变送器如何确保测量精度

   单晶硅差压变送器是20世纪80年代研制开发的新式差压变送器，它运用单晶硅谐振传感器，选用微电子外表加工技能，还可结束反抗静压、温飘对其影响。因为配备了低噪声调制解调器和开放式通讯协议，现在的单晶硅差压变送器可结束数字无损耗信号传输。

   单晶硅压力传感器具有高精度和高稳定性，通常能够达到±0.075%FS（满量程）或更高。制造过程中采用微米级别的加工技术，使其具备高精度和高稳定性。此外，单晶硅材料本身具有优异的物理性质，如高强度、高硬度、高耐腐蚀性等，也保证了传感器的精度和稳定性。

此外，单晶硅压力传感器还具有大量程迁移比的特点，可在较大的压力范围内进行测量。因此，在工业控制、汽车电子、医疗设备等领域有广泛应用。需要注意的是，传感器的精度受到多种因素的影响，如温度、湿度和压力等。因此，在使用过程中需要定期校准和维护，以保证其精度和稳定性。

   单晶硅电阻器式控制器的輸出协调性高、信号量大、回差很小，而且电路原理比较简约靠谱，因此国际性上较多智能变送器生产商优先选择选用此计划方案开展高档智能变送器的产品研发和生产制造。可是较之中文谈及的金属材料电容式传感器和单晶硅串联谐振式控制器， 单晶硅电阻器集成ic的运用具备比较独特的加工工艺规定。具体表现在

芯片的无地应力封裝技术性和硅塑料薄膜的单边过压保护技术性层面。这两项运用技术性在2000年以前紧紧把握在西方国家资本主义国家手上，从2013年之后，麦德胜电气设备（我国）有限责任公司根据从英国MADSHEN国际贸易公司的技术性协作、引入和再产品研发，最后充足把握了多选有关技术性，因而保持了高可靠性硅工作压力、差

变送器在中国规模性生产制造，MDSGP100系列产品和MDSDP系列产品的高可靠性单晶硅智能变送器的精确度基础理论级别超过了0.05级，一切正常可超过0.075级，彻底超过乃至超出了左右海外著名品牌的智能变送器。

   横河EJA系列单晶硅谐振式变送器，较之电容式传感器其生产过程中的制造成本控制有一定的优势。主要的优势体现在温度和静压补偿环节中，即：双谐振回路的原始差动信号输出，而此差动信号不被温度和静压的影响，因此对于后期的变送器的温度补偿和静压补偿等工序环节操作较为简便。其最终的准确度等级到达0.065级，稍逊色于罗斯蒙

3051C/S系列。但是由于单晶硅谐振梁芯片的批量生产技术被日本横河公司垄断，这种单晶硅谐振梁芯片所带来的技术难度和技术壁垒，同样不能有效地被中国本土企业突破，因此几乎所有的中国制造厂商均放弃了单晶硅谐振式变送器的进一步探索和研究。

第三种为德国、瑞士为代表的单晶硅电阻式压力、差压变送器。其工作原理为：外界压差传递到内部的单晶硅全动态的压阻效应惠斯登电桥，惠斯顿电桥在压力的作用下产生一个跟随压力变化的电压信号输出，将这个电压信号通过电子电路收集、放大和软件补偿处理后，就得到压力信号的线性输出。